真空泵機(jī)組圖片
更新時(shí)間：2011-05-25 14:20
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干式螺桿真空泵介紹
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行高效。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點(diǎn)是無(wú)需密封液，從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計(jì)，可節(jié)省30％的能量，氣體排放溫度更低，從而無(wú)須冷卻凈化。MHSP泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達(dá)0.005Torr。MAHA系列結(jié)構(gòu)緊湊，高效節(jié)能的螺桿式真空泵。該泵的最大特點(diǎn)是螺桿變螺距設(shè)計(jì)，該泵比其他競(jìng)爭(zhēng)者的干泵節(jié)能達(dá)30%以上，排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油，直通氣路設(shè)計(jì)，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。
螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。這種類型的泵如果選用適當(dāng)?shù)妮^簡(jiǎn)單螺桿牙型截面，則制造簡(jiǎn)單，可保證很高的加工精度，且容易動(dòng)平衡。
MAHA變螺距真空泵，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結(jié)構(gòu)。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。
MHSP干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油，由于是直通氣路設(shè)計(jì)，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng).
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干式螺桿真空泵的典型應(yīng)用：
• 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
• 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
• 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微；烊氡糜椭，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求
• 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵
• 用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染
• 化學(xué)和醫(yī)藥流程
• 溶劑回收
• 成型
• 結(jié)晶
• 干刻
• 濺鍍
• 蒸氣回收>
…..空中模擬
>MAHA干式螺桿真空泵的特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
MHDP泵是等螺距設(shè)計(jì)，可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbara），極限真空可達(dá)0.005Torr（0.008mbara）在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中沒(méi)有油或水，泵腔無(wú)部分接觸，簡(jiǎn)單，堅(jiān)固的設(shè)計(jì)可以處理工作中的副產(chǎn)品一液體，冷凝物，甚至小顆粒，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅(qū)動(dòng)或V皮帶有加長(zhǎng)的轉(zhuǎn)子，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全水無(wú)油，直通氣路設(shè)計(jì)，MHDP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。主要特點(diǎn)：
沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸
運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸
簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要
泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
型號(hào) CFM/m3/h HP/k W
MHDP-150 120/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/20
2.MHSP變螺距干式螺桿真空泵
MHSP變螺距干式羅茨真空泵，設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行高效。最顯著的特點(diǎn)是無(wú)需密封液，從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計(jì)，提高了效率，降低了排出氣體溫度,從而無(wú)須冷卻凈化,可節(jié)省30％的能量，這是該泵的最大特點(diǎn)。MHSP泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達(dá)0.01Torr（0.013mbar a）。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油，直通氣路設(shè)計(jì)，MHSP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體
MHSP主要特點(diǎn)：
• 沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸
• 運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸
• 簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
• 節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要
• 泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
• 即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
變螺距型號(hào) CFM/m3/h HP/k W
MHSP-40 40 5/3.7
MHSP-80 80 5 /3.7
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55
異形螺距型號(hào) CFM/m3/h HP/k W
MHHP-310 310 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
MAHA變螺距干式羅桿真空泵，設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行高效。螺桿與軸一體加工，最顯著的特點(diǎn)是無(wú)需密封液，從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計(jì)，可節(jié)省30％的能量，氣體排放溫度更低，從而無(wú)須冷卻凈化。MHSP泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbar a），而其極限真空可達(dá)0.005Torr。MAHA系列結(jié)構(gòu)緊湊，高效節(jié)能的螺桿式真空泵。該泵的最大特點(diǎn)是螺桿變螺距設(shè)計(jì)，該泵比其他競(jìng)爭(zhēng)者的干泵節(jié)能達(dá)30%以上，排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油，直通氣路設(shè)計(jì)，MAHA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。
螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。這種類型的泵如果選用適當(dāng)?shù)妮^簡(jiǎn)單螺桿牙型截面，則制造簡(jiǎn)單，可保證很高的加工精度，且容易動(dòng)平衡。
MAHA變螺距真空泵，異形螺桿真空泵與MAHA等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結(jié)構(gòu)。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。
MHSP干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油，由于是直通氣路設(shè)計(jì)，MHDP和MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。MAHA真空泵MHSP SHHP和MHDP干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng).
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干式螺桿真空泵的典型應(yīng)用：
• 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
• 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
• 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微；烊氡糜椭，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求
• 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵
• 用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染
• 化學(xué)和醫(yī)藥流程
• 溶劑回收
• 成型
• 結(jié)晶
• 干刻
• 濺鍍
• 蒸氣回收>
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸
運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸
簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要
泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
MHDP-150 120/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/20
• 沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸
• 運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸
• 簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒
• 節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要
• 泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速
• 即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)
MHSP-80 80 5 /3.7
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55
MHHP-310 310 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
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