北京萬侯微電子超純水處理技術(shù)
來源：北京萬侯環(huán)境技術(shù)開發(fā)有限公司 閱讀：1983 更新時間：2011-04-08 17:11超純水處理
超純水系統(tǒng)分為預(yù)處理、反滲透系統(tǒng)、精脫鹽系統(tǒng)及產(chǎn)品水儲存輸送系統(tǒng)等部分。
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設(shè)計原則
1.操作安全、運行穩(wěn)定、易于管理
2.具備完善、可靠的自我保護(hù)功能
3.具備良好的故障恢復(fù)性能
4.具備最佳運行狀態(tài)重現(xiàn)性
系統(tǒng)階段質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(25°C)
1.一級反滲透產(chǎn)水電阻率 ρ＞0.1MΩ.cm
2.二級反滲透產(chǎn)水電阻率 ρ＞1.0MΩ.cm
3.EDI電脫鹽產(chǎn)水電阻率 ρ＞15.0MΩ.cm
4.產(chǎn)品水電阻率 ρ＞18.0MΩ.cm
系統(tǒng)階段性能
1.一級反滲透RO系統(tǒng)水利用率 ≥75％
2.二級反滲透RO系統(tǒng)水利用率 ≥85％
3.EDI電脫鹽系統(tǒng)水利用率 ≥90％
4.產(chǎn)品水電阻率 ＞18.0MΩ.cm
5.RO膜使用壽命不低于3年，三年后RO膜脫鹽率＞95％
EDI膜塊使用壽命不低于3年
流程圖
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主要設(shè)備索引
多介質(zhì)過濾器
活性炭過濾器
精密過濾器
全自動軟水器
RO反滲透膜
混床
UF超濾
UV紫外線消毒器
水箱
純水和膜處理工藝
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在純水處理、尤其是超純水處理工藝中，各種膜處理工藝被廣泛地使用。不同的過濾器能濾除對應(yīng)的雜質(zhì)。
每種膜處理設(shè)備都有各自的進(jìn)水要求，所以，純水處理工藝都是用低級別的過濾設(shè)備作為高級別過濾器的前級。
經(jīng)過RO反滲透的水，其中鹽分被過濾掉，才能測量出水的電阻率出現(xiàn)升高。對于超純水需要二級反滲透才能滿足要求。
