高純水，超純水(high-purity water,ultra-high purity water)是化學(xué)純度極高的水，其中的雜質(zhì)的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經(jīng)達(dá)到99.999999%，其中雜質(zhì)含量低于0.01mg/L。將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水。

目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

反滲透加EDI技術(shù)，屬當(dāng)今世界上最先進(jìn)的脫鹽技術(shù)，在電子、醫(yī)藥等行業(yè)水質(zhì)凈化、清洗、水質(zhì)純化以及廢水處理有著廣泛的應(yīng)用。

電子工業(yè)超純水設(shè)備主要用途：　　

電子工業(yè)超純水設(shè)備主要用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水，半導(dǎo)體、顯象管制造業(yè)用超純水，集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水，蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產(chǎn)用純水，高純水，超純水的制備。

例如，在電子工業(yè)方面，可以作為線路板清洗用超純水的處理設(shè)備，與其它技術(shù)諸如電滲析、離子交換和蒸餾相比，具有能耗低、脫鹽率高、除菌能力強和操作簡單、維護(hù)方便的特點，大大節(jié)省了運行、維修成本。

一、應(yīng)用范圍概述：

　　微電子行業(yè):電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn)；

　　化學(xué)化工：超純化學(xué)試劑生產(chǎn)化工新材料生產(chǎn)；

　　其它：貴金屬冶煉、磁性材料生產(chǎn)、電子級無塵布生產(chǎn)、光學(xué)材料生產(chǎn)等；

二、典型工藝流程

1　預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）

2預(yù)處理－一級反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）

3　預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥12MΩ.CM）(最新工藝)

三、標(biāo)準(zhǔn)參考

　　　顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)

　　　集成電路用純水水質(zhì)

　　　國家電子級純水標(biāo)準(zhǔn)

四、設(shè)備特點

超純水設(shè)備具有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和運行可靠性。